실리콘 웨이퍼 제작 - 밀러지수

 

실리콘 웨이퍼의 제작에서 밀러지수가 등장한다.

밀러지수를 간단히 말하면 밀러라는 사람이 제안한 결정면을 나타낸 것이라고 할 수 있다.

 

위의 구조는 Si의 구조를 3D 형태로 입체적으로 나태낸 것이다.

Si의 체외각 전자는 4개이므로 하나의 Si는 4개의 Si와 공유결합을 이룬다.

 

 

 

입체적인 구조이기에 X축과 Y축 그리고 Z축을 사용하여 표기한다.

단면적을 자를 때 방향에 따라 표면의 원자 배열이 달라진다.

100의 단명적을 보면 표면에 4개의 원자가 있다.

110의 단면적은 6개의 원자가 존재한다.

이러한 표면의 원자수는 반도체의 민감도에 영향을 준다.

 

대표적으로 사용되는 웨이퍼를 나타내었다.

실제 웨이퍼는 커팅 후 아래의 그림과 같이 커팅 방향을 육안으로 구분하기 어렵다.

그렇기에 웨이퍼 제작 시 위와 같이 커팅을 하여 구분을 해준다.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

사진출처 및 참고자료

Basic Properties of the Silicon Lattice, 01 January 2010, Viktor Sverdlov

https://news.skhynix.co.kr/post/jeonginseong-column-oxidation

https://www.alibaba.com/product-detail/Jiamei-High-Quality-4-inch-double_60762054334.html